日本原裝ULVAC愛發科 CRTM-R1沉積控制器日本原裝ULVAC愛發科 沉積控制器石英晶體沉積控制器是一種用于在薄膜制造過程中實時高精度地測量和控制膜厚及沉積速率的裝置。它利用石英晶體振蕩器檢測薄膜沉積過程中的質量變化,并計算出準確的膜厚。這在有機器件、半導體和光學器件等需要精確膜厚的領域,有助于提高質量和生產效率。
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采用新的測量方法,顯著提高了速率穩定性。
能力(CI值)測量提高了檢測水晶板異常的能力。
由于具有出色的薄膜厚度和速率分辨率(0.0018? @5MHz),它也是控制低速率沉積的理想選擇。
可以同時控制最多 8 個源的沉積(添加選項時)。
通訊方式支持以太網、RS-232C。
主機中存儲的各種日志數據可以以CSV格式傳輸到USB。
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